GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

GB/T 38616-2020 Terminology for nano positioning and scanning stage

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 38616-2020
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2020-04-28
实施日期
2020-11-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)
适用范围
本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

发布历史

研制信息

起草单位:
沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学
起草人:
须颖、戴敬、安冬、邵萌、施玉书、贾静、戴超、文杰、王贺
出版信息:
页数:12页 | 字数:22 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS01.040.39

N10

中华人民共和国国家标准

/—

GBT386162020

纳米定位与扫描平台术语

Terminolofornanoositioninandscanninstae

gypggg

2020-04-28发布2020-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT386162020

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2通用术语…………………1

3检测术语…………………2

索引……………………………7

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