• DB13/T 5118-2019 4H 碳化硅 N 型同质外
延片通用技术要求 现行
    译:DB13/T 5118-2019 4H-SiC N-type homogeneous epitaxial wafer general technical requirements
    【国际标准分类号(ICS)】 :暂无 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-DB13)河北省地方标准 | 发布时间: 2019-11-28 | 实施时间: 2019-12-28