国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译:T/CAS 304-2018 Magnetron sputtering silicon target and bonding target material适用范围:范围:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材; 主要技术内容:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :L19磁性元器件发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2018-05-29 | 实施时间: 2018-05-29收藏