19 试验
65 农业
77 冶金
  • GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 废止
    译:GB/T 17169-1997 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H24金相检验方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 1997-12-22 | 实施时间: 1998-08-01