GB/T 28894-2012 表面化学分析 分析前样品的处理

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT288942012ISO181172009

表面化学分析分析前样品的处理

—

SurfacechemicalanalsisHandlinofsecimensriortoanalsis

ygppy

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(:,)

ISO181172009IDT

2012-11-05发布2013-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT288942012ISO181172009

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准使用翻译法等同采用:《表面化学分析分析前样品的处理》。

ISO181172009

,:

为了方便使用本标准做了下列编辑性修改

———“”“”。

用本标准代替本国际标准

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Ⅰ

/—/:

GBT288942012ISO181172009

引言

。

本标准对于提交表面化学分析样品的人们在样品处理和把样品递送给分析人员方面提供指导尽

()、()(),

管主要是为俄歇电子能谱AESX射线光电子能谱XPS和二次离子质谱SIMS而写但这些方法

。、()。

也能用于其他表面敏感的分析测量和通常对几纳米厚度的表面层敏感这样

AESXPSSIMSnm

[,]

12

的薄层会由于不正确的样品处理而受到严重影响。样品的正确处理和制备对于分析是极为重要

,。

的不正确的处理会导致表面组成改变和数据不可信

。

本标准是供给样品提供者或表面分析设备的购买者以及表面分析人员使用的最佳处理方法取决

,,

于特定的样品和所需的信息并且本标准为每一种样品类型提供了说明性的例子这些样品类型是样品

。、

所有者和表面分析人员通常遇到的本标准建议样品供应者就有关样品的来历需要解决的具体问题

,、,。

或所需要的信息以及任何特殊的样品制备所需的处理或运送方法尽可能快地和表面分析人员商量

[]

4

,

本标准可以不依赖于ISO18116而独立使用该标准用于指导分析人员进行表面分析的样品制

备和安装。

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Ⅱ

/—/:

GBT288942012ISO181172009

表面化学分析分析前样品的处理

1范围

。

本标准规定了表面化学分析样品的处理和存放容器的要求本标准适用于表面化学分析设备的用

,()、()

户了解表面化学分析技术的特殊样品处理要求特别是俄歇电子能谱AES二次离子质谱SIMS和

()。,。

射线光电子能谱或本标准也适用于对表面组成敏感的其他分析技术如对

XXPSESCATXRF

,,。

于特定的实例特定的样品需要更加注意

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/—,表面化学分析词汇(:,)

GBT224612008ISO181152001IDT

:,表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南(

ISO181162005Surfacechemical

—)

analsisGuidelinesforrearationandmountinofsecimensforanalsis

yppgpy

3术语和定义

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/—界定的术语和定义适用于本文件。

GBT224612008

4符号和缩略词

AES俄歇电子能谱

AFM原子力显微镜

ESCA化学分析电子能谱

PTFE聚四氟乙烯

SEM扫描电子显微镜

SIMS二次离子质谱

全反射射线荧光光谱

TXRFX

XPSX射线光电子能谱

5本标准结构的说明

,。

第章讨论了要考虑的会影响表面组成的附加事项如样品来历和样品先前的分析这些影响的

7

。

文件要随同小心处理和包装的样品一并交付第章提供了使样品表面污染最小所需的样品处理方法

8

,

的专门建议还给出基于在样品处理和转移到储存容器期间保持和增加样品洁净度的一系列可供选择

。,、

的样品处理方法第章表述了可能用于不同条件的不同样品容器也讨论了与样品保存有关的时间

9

。,理步

湿度和温度第章和第章强调样品处理对表面分析测量结果的影响在执行规定的样品处

1011

,。

骤时样品所有者及分析人员将从改善的分析结果中受益

1

/—/:

GBT288942012ISO181172009

6常规要求和样品分类

6.1表面敏感分析技术所要求的表面洁净度远高于许多其他类型的分析技术。

,

6.2不能祼手接触样品任何时候都要排除或尽可能减少用处理工具或其他设备接触要分析的表面

区域。

,。

6.3样品放在容器中交给分析人员容器并不直接接触要分析的表面

,,“”,

6.4在许多情况下分析人员不对交付的样品进行预处理直接在接收状态的样品上进行表面污

,。,

染或大气吸附物通常并不除去因为这些是要分析的项目在处理这些样品时要小心进行以保证除空

。

气和洁净的惰性气体外没有任何物体与要分析的表面接触尤其要避免样品表面接触到溶剂或清洁用

,,、,、、、

的溶液如压缩空气或溶剂蒸气这样的气体金属薄纸或其他包裹材料带子布工具包装材料或容

。,),)

器壁当样品大小使这些预防措施并不可行的情况下某些替代的样品处理和传递方法在9.2i9.2

j

和9.2k)作了介绍。

,。,

6.5在某些情况下可能需要从样品中选取代表性的样本由于样品经常不均匀考虑到要探寻的信

。。

息应该从大的样品中选取较小的样本本文件建议与有经验的分析人员协商进行这种选择要特别注

(:)。

意进行切割时不要污染要分析的表面见ISO181162005

。

6.6对于含有潜在的毒素或其他危险材料的样品要特别小心操作任何时候要随样品提供化学危险

数据单。

、,

根据表面情形获取信息距离表面的深度以及对分析材料要求的检测等级不同要求处理样品的小

。,、

心程度明显不同以下所列是按处理敏感性降低的次序排列在表的第列第列和第列中部分

1123

重复。

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)要分析活性表面的活性样品;

a

)、;

b要分析表面上有碳氢化合物分子薄膜或生物材料的样品

)要分析污染层的样品;

c

)已暴露大气并要求直接分析的样品;

d

),;

e有大气吸附质的样品该吸附质可能干扰分析

)