JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
JC/T 2133-2012 Determination of Impurity Element Content in Semiconductor Polishing Solution Using Silica Sol by Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy (ICP-AES)
行业标准-建材
简体中文
现行
页数：10页
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格式：PDF
基本信息
标准号
JC/T 2133-2012
标准类型
行业标准-建材
标准状态
现行
发布日期
2012-12-28
实施日期
2013-06-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国工业陶瓷标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2012年12月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 起草人：
- 陈奕睿、屈海云 等
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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