GB/T 23414-2009 微束分析扫描电子显微术术语

GB/T 23414-2009 Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Vocabulary

国家标准中文简体现行页数：31页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 23414-2009

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

N33 电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）

01.040.37 成像技术 (词汇)

发布日期

2009-04-01

实施日期

2009-12-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国微束分析标准化技术委员会

适用范围

本标准定义了扫描电子显微术（SEM）实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。
本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析（EPMA）、分析电子显微术（AEM）、能谱法（EDX）等〕。

发布历史

2009年04月

GB/T 23414-2009　微束分析扫描电子显微术术语

当前标准现行 2009-04-01

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人：: 李香庭、曾毅

出版信息：: 页数：31页 | 字数：54 千字 | 开本：大16开

内容描述

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中华人民共和国国家标准

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微束分析扫描电子显微术术语

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ＩＳＯ２２４９３２００８ＩＤＴ

２００９０４０１发布２００９１２０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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犌犅犜２３４１４２００９犐犛犗２２４９３２００８

前言Ⅰ

引言Ⅱ

１范围１

２缩略语１

３ＳＥＭ物理基础术语１

４ＳＥＭ仪器术语５

５ＳＥＭ成像和图像处理术语１０

６ＳＥＭ图像诠释和分析术语１４

７ＳＥＭ图像放大倍率和分辨率校正及测量术语１６

参考文献１８

中文索引１９

英文索引

关联标准

采用标准

ISO 22493:2008

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