GB/T 42158-2023 微机电系统(MEMS)技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

GB/T 42158-2023 Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

国家标准中文简体现行页数：23页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 42158-2023

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L59 微型组件

国际标准分类号（ICS）

31.080.99 其他半导体分立器件

发布日期

2023-03-17

实施日期

2023-07-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

适用范围

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

发布历史

2023年03月

GB/T 42158-2023　微机电系统(MEMS)技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

当前标准现行 2023-03-17

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研制信息

起草单位：: 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司

起草人：: 张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广

出版信息：: 页数：23页 | 字数：48 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT421582023IEC62047-262016

微机电系统()技术微沟槽和

MEMS

棱锥式针结构的描述和测量方法

()—

Micro-electromechanicalsstemstechnoloMEMSDescritionand

ygyp

measurementmethodsformicrotrenchandramidalneedlestructures

(:,——

IEC62047-262016SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

Part26Descritionandmeasurementmethodsformicrotrenchandneedle

structuresIDT

2023-03-17发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT421582023IEC62047-262016

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4微米尺度沟槽结构的描述………………1

4.1概述…………………1

4.2符号和名称…………………………2

4.3说明…………………3

5微米尺度棱锥式针结构的描述…………3

5.1概述…………………3

5.2符号和名称…………………………4

5.3说明………

关联标准

采用标准

IEC 62047-26:2016

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