SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
SJ/T 10627-1995 Test methods for oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
行业标准-电子
中文(简体)
废止
页数：5页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 10627-1995
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
发布日期
1995-04-22
实施日期
1995-10-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1995年04月
研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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