JJG 2019-1989 平面度计量器具

中华人民共和国国家计量检定系统

JJG2019-89

平面度计盆器具

1989年6月228批准1998年4月1日实施

国家技术一监督局

目录

一计最基准器具(1)

二计里标准器具·(2)

三工作计量器具·(3)

四附加说明······，····················‘·············，················一(4)

五平面度计址器具检定系统框图······························一(5)

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平面度计t器具检定系统

VerificationSchemeofMeasuringInstrumentsforFlatness

JJG2019-89

本国家计量检定系统经国家技术监督局于1989年6月22日批

准，并自1990年4月1日起施行.

绍草单位:中国计量科学研究院

本检定系统技术条文由起草单位负责解释。

本检定系统主要起草人。

张秀英(中国计量科学研究院)

参加归草人:

毛起广(中国计盈科学研究院)

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JJG2019-as共5页第1页

平面度计最器具检定系统

本检定系统适用于光学行业、机械行业生产和使用中的平面平

晶、长平晶以及用于检测平面度、直线度的仪器和量具.

一计皿签准器具

1平面度国家基准

1.1国家计量基准的用途

本基准用于复现平直度量值和通过标准器具向使用中的工作计量

器具传递，以保证国内平面度量值的统一，提高光学、机械产品的质

量.

本基准复现的量值作为平面度比对的基础。

1.2组成国家计量基准的全套主要计量器具的名称:

a.平面等倾干涉仪，

b。币150mm基准平晶组，

c,210mm基准长平晶组;

d,310m-基准长平晶组。

1.3国家计量基准复现的量的范围

a.平面平晶为4150mm;

b。长平晶为210mm和310mm,

1.4平面度计量基准的不确定度

对于0150mm平面平晶和210mm长平晶

d=士0.01Rm

对于310mm长平晶

d二上0,02um

置信度因子K=3

1.5基准用多面互检法，并以直接比较法向标准器具传递。

2平面度副基准

2.1组成副基准的全套主要计量器具名称:

共5页第2贾arc2019-8s

a.平面等倾千涉仪;

b.叻工犯mm基准平晶组，

c.210mm基准长平晶组，

d.310mm基准长平晶组.

2.2副基准的测量范围:

a.平面平晶为币工50mm,

b.长全7晶为210mm和310mm.

2.3副基准的不确定度

对于0150mm平面平晶及210mm长平晶

d=士0.01PM

对于310mm长平晶

d=士0.02Gam

置信度因子K=3

2.4主基准与副基准之间需4年比对1次.

二计皿标准器具

3一等标准平晶组

3.1测量范围:0150mm.

3.2测量不确定度:d=10.01um，置信度因子K=3.

4二等标准平晶组

4.1测量范围:(P150mm.

4.2测量不确定度:d=士。.02Om，置信度因子K=3.

5带标准平晶平面等厚干涉仪

5.1Pi量范围:0100.0200mm.

5.2测量允许误差

a.一级等厚干涉仪:允许误差△=0.015-0.04um;

b。二级等厚干涉仪:允许误差△=0.03-0.08km.

6标准长平晶组

6.1测量范围:210mm,310mm.

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6.2测量不确定度:d=土0,01gm,6=士0,02IAmt

刀C2019-89共弓页第3页

置信度因子K=3.

7长平晶

7.1测量范围:210mmj310mm,

7.2测量不确定度:6=10.015Om,6=10.04um,

置信度因子K=3.

80级标准平尺。

8.1A叮量范围:175^-600mm,

8.2允许误差:0=0.13-0.5um.

91级标准平尺

9.1测量范围:175^-600mm,

9.2允许误差:4=0.25-1.0pm.

10平尺、平板类工作用计量器具，根据检定规程可应用相应精

度的各类型自准直仪或水平仪进行检定。

检定这类自准直仪和水平仪采用小角度检查仪作标准.因此，这

一类长度通用的标准量仪是由长度基准通过量块进行量值传递的。

11鉴于标准平面平晶和长平晶等标准计量器具自身的特点，它

们可以通过计量基准器具直接检定，亦可采用多面互检的方法进行

检定，但应定期的做溯源比对，以考验量值传递的可靠性，一般溯源

比对需两年1次。

三工作计量器具

12平面平晶

12.1测量范围:h(30-0300mm.

12.2允j书误差

a,l级0.03^-0.08umj

b.2级0.1-0.14wm.

13平行平晶

13.1测量范围(高度)1090mm.

13.2允许误差

a。工作面的平面度不应大于0.1wmj

共弓页第4页打G2019-89

b.两工作面的平行度。.6-1.0lam.

14刀口形直尺

14.1测量范围:75-500mm.

14.2允许误差:

a.0级0.5.2.0jamj

b.级1.0-4.0um.

15钢平尺和岩石平尺

15.1测量范围:4002500ram.

15.2允许误差:

a.00级1.6^-6.6dam;

b.0级2.6--11.0dam;

C.1级5.022.0lam,

d.2级20.0--44.0Wm.

16铸铁平板和岩石平板

16.1测量范围:160x1004000x2500mm.

16.2允许误差:

a.00级2.5^-8.0[am)

b.0级5.016.0pmj

c.1级.umt

d.2级1am;

e.3级62.0一228.0Iam.

四附加说明

本系统检定方法的不确定度:

平面平晶与长平晶均按“四面法”或“五面法”互检计算出其不

确定度。

例如:按四面互检时，四块平晶依次组合6次，即

x+Y=aaz+Y=az万+t=a,_夕+z=a,y+t=口.t+z=a.

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每块平晶平面度偏差按式((1)计算:

JJG2019-89共5页第5页

一t

2(a,+a2+a,)一(a,+a,+a,)

x=

6

2(a,+a,+a,一(a2+a,+a,)

y=

十尹，(1)

2(a2+a,+a,)一(al+a,+a,)

z=

6

二

.

2(a.+a,+a,)一(a,+。:+a,)!

6/

并由式((2)计算检定结果的残差:

01x,=J,+K，一apct(2)

式中:A1x1-平晶J和K互检时，在t点的残差，

J和K为x,y,z,t四块平晶中的某两块.

两块平晶平面度之和的测量术确定度d，由式(3)计算:

ZE△.`e.

01=‘/一.二，“巴(3)

V咨n.

每块平晶平面度的测量不砍定度d:由式(4)求得;

。:=J152d1(4)

我们在表中标明的总不确定度，真置信度因子K=3a

五平面度计皿器具检定系统框图

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