GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮

GB/T 21287-2007 Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

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基本信息

标准号
GB/T 21287-2007
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2007-12-14
实施日期
2008-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式:NF3。 分子量:71.0019(按2001年国际相对原子量)

发布历史

研制信息

起草单位:
湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所
起草人:
余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
出版信息:
页数:16页 | 字数:26 千字 | 开本: 大16开

内容描述

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