GB/T 44076-2024 纳米技术 碳纳米管电学特性测试方法

GB/T 44076-2024 Nanotechnologies—Test methods for measurement of electrical properties of carbon nanotubes

国家标准 中文简体 即将实施 页数:24页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 44076-2024
标准类型
国家标准
标准状态
即将实施
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2024-05-28
实施日期
2024-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
本文件描述了碳纳米管电学特性测试方法。
本文件适用于不同工艺路线制备的碳纳米管的电学特性测量。

发布历史

文前页预览

研制信息

起草单位:
深圳市德方纳米科技股份有限公司、国家纳米科学中心、深圳市飞墨科技有限公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、深圳大学、中国科学院微电子研究所、深圳市德方创域新能源科技有限公司、佛山巧鸾科技有限公司、深圳烯湾科技有限公司、中国计量大学
起草人:
孔令涌、王远航、高洁、孙言、黄少真、宋志棠、翟永彪、夏洋、陈小刚、邱志平、金青青、裴现一男、陈心怡、李忻达、刘焕明、车晓东、肖坚、何萌、张淑琴、钟丽坤
出版信息:
页数:24页 | 字数:31 千字 | 开本: 大16开

内容描述

;

ICS07.03017.220.20

CCSA42

中华人民共和国国家标准

/—

GBT440762024

纳米技术碳纳米管电学特性测试方法

NanotechnoloiesTestmethodsformeasurementofelectrical

g

roertiesofcarbonnanotubes

pp

(:,

IEC626242009Testmethodsformeasurementofelectrical

,)

roertiesofcarbonnanotubesMOD

pp

2024-05-28发布2024-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT440762024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

、………………………

3术语定义和缩略语1

3.1术语和定义…………………………1

3.2缩略语………………1

4电学特性通则……………2

4.1测试仪器……………2

4.2探测系统……………2

4.3测量技术……………2

4.4重复性和报告样本量………………5

4.5测量的复现性………………………5

4.6低噪声技术的应用…………………6

5纳米管特性………………6

5.1概述…………………6

5.2单壁纳米管…………………………7

5.3多壁纳米管…………………………7

6电极………………………7

6.1概述…………………7

6.2材料…………………8

6.3电极制造方法………………………8

6.4尺寸…………………8

7器件表征…………………8

7.1架构设计……………8

7.2加工和制造方法……………………8

7.3表征过程的指南……………………8

8测量方法与报告…………………………9

8.1报告要求……………9

、………………………

8.2电导率电阻率的测定和报告9

、…………………

8.3载流子迁移率电荷载流子密度的测定和报告10

8.4非线性行为的确定和报告…………11

8.5环境条件报告………………………11

8.6其他可报告的参数…………………12

参考文献……………………13

/—

GBT440762024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件修改采用:《碳纳米管电学特性测试方法》。

IEC626242009

本文件与:相比做了下述结构调整:

IEC626242009

———第章对应:中的;

1IEC6262420091.1

———增加了第章规范性引用文件;

2

———第章对应:中的第章;

3IEC6262420092

———:,:;

第章对应中的其中对应中的和

4IEC6262420091.34.5.3IEC6262420091.3.5.21.3.5.3

———第章对应:中的第章;

5IEC6262420093

———第章对应:中的第章;

6IEC6262420094

———第章对应:中的、和;

7IEC6262420095.15.25.3.1

———:,:;

第章对应中的和其中对应中的和

8IEC6262420095.3.25.48.5IEC6262420095.3.2.55.4

———参考文献对应:中的附录。

IEC626242009A

本文件与:的技术差异及其原因如下:

IEC626242009

———:“”,/—;

删除了中的目的以符合的规定

IEC6262420091.2GBT1.12020

———:(),/—

将中引导语的第句话改为注的形式见以符合

IEC6262420092.123.1GBT1.12020

的规定;

———“”(),;

更改了碳纳米管的定义见3.1.1使用最新的定义

———“”“”“”“”“”“”“

删除了术语激励端激励电压接地平台开尔文测量多壁碳纳米管测量端单壁碳

”“”,;

纳米管转移特性因为本文件未使用或仅使用了一次这些术语

———“”,;

删除了缩略语NIST因为本文件未使用该缩略语

———“”“”,();

增加了缩略语和因为本文件在中使用了这两个缩略语见

EMIRFI4.63.2

———“(-16)”“(-15)”,();

将100aA10A更改为1fA10A以符合前文表述逻辑见4.1

———“()”,,();

删除了美国国家标准与技术研究院NIST增加可操作性提高本文件的适用性见4.1

———“”“”,,()。

将<更改为≤增加可操作性提高本文件的适用性见4.3.2

本文件做了下列编辑性改动:

———,《》;

为与现有标准协调将标准名称改为纳米技术碳纳米管电学特性测试方法

———(、、);

增加了条标题见和

4.3.1.14.5.15.16.1

———删除了资料性附录,:中的附录不适用于本文件。

BIEC626242009B

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国科学院提出。

(/)。

本文件由全国纳米技术标准化技术委员会SACTC279归口

:、、

本文件起草单位深圳市德方纳米科技股份有限公司国家纳米科学中心深圳市飞墨科技有限公

、、、、

司中国科学院上海微系统与信息技术研究所深圳大学中国科学院微电子研究所深圳市德方创域新

、、、。

能源科技有限公司佛山巧鸾科技有限公司深圳烯湾科技有限公司中国计量大学

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人孔令涌王远航高洁孙言黄少真宋志棠翟永彪夏洋陈小刚邱志平

、、、、、、、、、。

金青青裴现一男陈心怡李忻达刘焕明车晓东肖坚何萌张淑琴钟丽坤

/—

GBT440762024

引言

()。,

本文件旨在提供碳纳米管CNT电学特性表征的推荐方法和报告要求由于碳纳米管的性质如

,。,

果操作不当会引入较大的测量误差本文件描述了常见的测量误差来源尤其是碳纳米管电学特性测

,,。

量常用到的高阻抗测试并给出了推荐的操作方法以降低因测量方法不同而带来的影响随着技术的

,。

发展这些方法将有助于建立一个从研究到制造都可以使用的推荐性报告

,,,

为了使分析报告数据规范化本文件还给出了报告要求包括环境条件和样本量的描述以便研究

。,。

人员可恰当地评估结果这些报告要求还支持结果的可重复性分析以便更有效地确认新的发现

本文件旨在促进碳纳米管技术从实验室向产业化发展标准化的表征方法和报告要求为信息的有

,。

效比较提供了一种手段并为生产制造奠定了基础

/—

GBT440762024

纳米技术碳纳米管电学特性测试方法

1范围

本文件描述了碳纳米管电学特性测试方法。

本文件适用于不同工艺路线制备的碳纳米管的电学特性测量。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语定义和缩略语

3.1术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

:。

注对于本条中未定义的术语参考IEEE100

3.1.1

碳纳米管carbonnanotube

由碳原子构成的纳米管。

:,、。

注通常是由卷曲的碳单层构成包括单壁碳纳米管双壁碳纳米管和多壁碳纳米管

[:/—,]

来源GBT30544.320154.3

3.1.2

手性chiralit

y

分子结构不能与其镜像相重叠的特性。

3.1.3

被测器件deviceundertest

,()。

连接到仪器上用于评估特定物理特性如电阻或I-V特性的样品

3.1.4

环境条件environmentalcondition

被测器件周围即时的真实或人造氛围条件。

:,。

注测量时尽可能接近被测器件并以对测试环境影响最小的方式进行

3.2缩略语

下列缩略语适用于本文件。

:()

AC交流电alternatincurrent

g

:()

AFM原子力显微镜atomicforcemicroscoe

p

:()

CNT碳纳米管carbonnanotube

:()

CVD化学气相沉积chemicalvaordeosition

pp

:()

DC直流directcurrent

:()

DUT被测器件deviceundertest

1

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