GB/T 28893-2024 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT288932024ISO209032019

代替/—

GBT288932012

表面化学分析俄歇电子能谱和

射线光电子能谱测定峰强度的

X

方法和报告结果所需的信息

—

SurfacechemicalanalsisAuerelectronsectroscoand

ygppy

—

X-rahotoelectronsectroscoMethodsusedtodetermineeak

ypppyp

intensitiesandinformationreuiredwhenreortinresults

qpg

(:,)

ISO209032019IDT

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT288932024ISO209032019

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5测定直接谱峰强度的方法………………1

5.1通则…………………1

5.2非弹性本底的选择和扣除…………2

5.3峰强度的测量………………………3

5.4用计算机软件测量峰强度…………4

5.5重叠峰谱图的峰强度测量…………4

5.6峰面积的测量不确定度……………5

6俄歇电子微分谱的峰强度测定方法……………………5

6.1通则…………………5

6.2俄歇电子微分谱强度的测量………………………6

6.3俄歇电子微分谱强度测量的不确定度……………6

7测量峰强度方法的报告…………………8

7.1一般要求……………8

7.2测定直接谱峰强度的方法…………8

7.3获得和测定俄歇电子微分谱峰强度的方法………9

()………………

附录资料性仪器对测量强度的影响

A10

()……………

附录资料性确定谱峰强度时可用的积分限值

BXPS11

参考文献……………………12

/—/:

GBT288932024ISO209032019

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规

GBT1.120201

定起草。

本文件代替/—《表面化学分析俄歇电子能谱和射线光电子能谱测定峰强

GBT288932012X

》,/—,,

度的方法和报告结果所需的信息与GBT288932012相比除结构调整和编辑性改动外主要技术

变化如下:

)(,);

更改了术语和定义见第章年版的第章

a320123

),(,)。

b更改了6.3的内容替换为包括处理共存化学态的现代方法见6.32012年版的6.3

本文件等同采用:《表面化学分析俄歇电子能谱和射线光电子能谱测定峰

ISO209032019X

强度的方法和报告结果所需的信息》。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、。

本文件起草单位厦门荷清教育咨询有限公司厦门大学

:、、、、、。

本文件主要起草人徐富春时海燕岑丹霞汤丁亮刘芬王水菊

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

———年首次发布为/—;

2012GBT288932012

———本次为第一次修订。

Ⅰ

/—/:

GBT288932024ISO209032019

引言

()

俄歇电子能谱和射线光电子能谱的重要特征是能获得固体样品表面区域深度

X≈1nm~10nm

,。

的定量分析结果这样的分析需要测定谱峰的强度

。,、

有几种峰强度测量方法适用于和实际上方法的选择将取决于所分析样品的类型所

AESXPS

用仪器的性能以及可用的数据采集与处理方法。

Ⅱ

/—/:

GBT288932024ISO209032019

表面化学分析俄歇电子能谱和

射线光电子能谱测定峰强度的

X

方法和报告结果所需的信息

1范围

本文件规定了俄歇电子能谱和射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要

X

,。

信息也提供了峰强度测量方法和导出的峰面积不确定度的信息

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

:(—

表面化学分析词汇第部分通用术语及谱学术语

ISO18115-11Surfacechemicalanalsis

y

—:)

VocabularPart1Generaltermsandtermsusedinsectrosco

yppy

:/—:(:,)

注表面化学分析词汇第部分通用术语及谱学术语

GBT22461.120231ISO18115-12013IDT

3术语和定义

ISO18115-1界定的术语和定义适用于本文件。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件。

:()

A峰面积peakarea

:()

AES俄歇电子能谱Auerelectronsectrosco

gppy

:(

b用于强度平均获得基线的通道数numberofchannelsoverwhichintensitiesareaveraedtoob-

g

)

tainabaseline

:()

eV电子伏electronvolts

:()

n谱图中的通道数numberofchannelsinasectrum

p

:射线光电子能谱()

XPSXX-rahotoelectronsectrosco

ypppy

:()

谱图中第通道的计数

inumberofcountsintheithchannelofasectrum

ip

y

:,()(,)

ΔE通道宽度单位为电子伏eVchannelwidthinelectronvolts

:,()(,)

Δt每通道的驻留时间单位为秒sdwelltimeerchannelinseconds

p

():()

σA计算峰面积的标准偏差standarddeviationofcalculatedeakarea

p

5测定直接谱峰强度的方法

5.1通则

),

图显示了射线光电子能谱的一部分其强度标示为动能自左向右增加或结合能自右向左增

1aX

1