GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

GB/T 5226.33-2017 Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment

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基本信息

标准号
GB/T 5226.33-2017
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
适用范围
-

研制信息

起草单位:
中微半导体设备(上海)有限公司
起草人:
李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟
出版信息:
页数:96页 | 字数:174 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS29.020

J09

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

机械电气安全机械电气设备

:

第部分半导体设备技术条件

33

——

ElectricalsafetofmachinerElectricaleuimentofmachines

yyqp

:

Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment

qqp

(:,——

IEC60204-332009SafetofmachinerElectricaleuimentofmachines

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Part33ReuirementsforsemiconductorfabricationeuimentIDT

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2017-10-14发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

目次

前言…………………………Ⅶ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………3

4基本要求…………………11

4.1一般原则……………11

4.2电气设备的选择……………………11

4.3电源…………………11

4.4实际环境和运行条件………………12

4.5运输和存放…………………………12

4.6设备搬运……………12

4.7安装…………………12

5引入电源线端接法和切断开关…………12

5.1引入电源线端接法…………………12

5.2连接外部保护接地系统的端子……………………13

()………………

5.3电源切断隔离开关13

5.4附加切断装置………………………15

、……………

5.5对未经允许疏忽和错误连接的防护15

6电击防护…………………16

6.1概述…………………16

6.2直接接触的防护……………………16

6.3间接接触的防护……………………17

6.4采用PELV的保护…………………18

6.5防止有技能人员和受训人员接触危险带电部分…………………19

7电气设备的保护…………………………19

7.1概述…………………19

7.2过电流保护…………………………20

7.3电动机的过热保护…………………22

7.4电动机的超速保护…………………22

7.5异常温度的检测……………………23

7.6对电源中断或电压降落随后复原的保护…………23

/…………

7.7接地故障残余电流保护23

7.8相序保护……………23

7.9闪电和开关浪涌引起过电压的防护………………23

7.10电解电容器………………………23

8等电位联结………………23

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

8.1概述…………………23

8.2保护联结电路………………………25

8.3功能联结……………27

8.4限制大泄漏电流影响的措施………………………27

,()…………

9控制电路紧急断开EMO和保护联锁电路27

9.1控制电路……………27

紧急断开()…………………

9.2EMO28

9.3紧急断开之外的操作………………29

9.4联锁保护……………30

()……………

9.5安全功能和或保护措施的暂时停止31

10操作板和安装在机械上的控制器件…………………31

10.1总则………………31

10.2按钮………………32

10.3指示灯……………33

10.4光标按钮…………………………34

10.5旋动控制器件……………………34

10.6起动器件…………………………34

10.7紧急断开装置……………………34

10.8紧急停止装置……………………35

10.9使能控制器件……………………35

:、…………

11控制设备位置安装和电柜35

11.1一般要求…………………………35

11.2位置和安装………………………35

11.3防护等级…………………………36

11.4电柜………………36

12导线和电缆……………38

12.1一般要求…………………………38

12.2绝缘………………39

12.3载流容量…………………………39

12.4导线和电缆的电压降……………39

12.5柔性电缆…………………………39

13配线技术………………40

13.1连接和布线………………………40

13.2多插座组件………………………42

/…………………

13.3插头插座组合件42

13.4导线的标识………………………42

13.5电柜外配线………………………43

、…………

13.6管道接线盒与其他线盒45

14电动机及有关设备……………………46

14.1一般要求…………………………46

14.2远程安装的电动机………………46

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

14.3电机尺寸…………………………46

14.4电机的安装与隔间………………46

15附件和照明…

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