GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT426592023ISO119522019

表面化学分析扫描探针显微术

采用扫描探针显微镜测定几何量:

测量系统校准

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SurfacechemicalanalsisScanninrobemicroscoDeterminationof

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:

eometricuantitiesusinSPMCalibrationofmeasurinsstems

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(:,)

ISO119522019IDT

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT426592023ISO119522019

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………2

5SPM的特性………………3

5.1SPM的组成…………………………3

5.2SPM的计量学分类…………………4

5.3SPM结构框图………………………5

5.4校准时间间隔………………………6

6测量系统特性的初步研究………………6

6.1待研究的仪器特性及影响因素通则………………6

(、、、、)……

6.2测量系统干预后的等待时间如仪器安装内在效应操作执行预热针尖样品更换等7

6.3外部影响……………8

6.4小结…………………8

7扫描轴的校准……………9

7.1通则…………………9

7.2测量标样……………9

扫描器的和扫描轴偏差(,)………

7.3xxxtztz10

yyy

和轴(,)以及垂直度()的校准与偏差(,,)的测定…

7.4xCCxtxtwx12

yxyxyyyy

ϕ

轴、、的校准及偏差、、的测定…………

7.5zCzxzyzztzzwxzwy19

ϕϕ

7.6用于可选扩展校准的三维测量标样………………26

8校准结果的报告…………………………29

8.1通则…………………29

8.2使用的设备…………………………30

8.3关于环境条件的说明………………30

()……………

初步研究根据第章

8.4630

———、()…………

校准测量标样扫描范围和扫描速度的详细信息根据第章

8.5730

8.6附加声明……………30

9测量不确定度……………31

9.1通则…………………31

()…………

9.2垂直被测量高度和深度31

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GBT426592023ISO119522019

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