GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准
GB/T 42659-2023 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
基本信息
本文件旨在:
——通过对长度单位溯源,提高SPM几何量测量结果的可比性;
——明确校准程序及验收条件的最低要求;
——确认被校准仪器的能力(赋予仪器“校准能力”所属的类别);
——规定校准的范围(测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性);
——根据ISO/IEC Guide 98-3,提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度;
——规定报告结果的要求。
发布历史
-
2023年08月
研制信息
- 起草单位:
- 中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
- 起草人:
- 李伟、蔡潇雨、李适、杨树明、程碧瑶、魏佳斯、高思田
- 出版信息:
- 页数:53页 | 字数:102 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT426592023ISO119522019
表面化学分析扫描探针显微术
采用扫描探针显微镜测定几何量:
测量系统校准
——
SurfacechemicalanalsisScanninrobemicroscoDeterminationof
ygppy
:
eometricuantitiesusinSPMCalibrationofmeasurinsstems
gqggy
(:,)
ISO119522019IDT
2023-08-06发布2024-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT426592023ISO119522019
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4符号………………………2
5SPM的特性………………3
5.1SPM的组成…………………………3
5.2SPM的计量学分类…………………4
5.3SPM结构框图………………………5
5.4校准时间间隔………………………6
6测量系统特性的初步研究………………6
6.1待研究的仪器特性及影响因素通则………………6
(、、、、)……
6.2测量系统干预后的等待时间如仪器安装内在效应操作执行预热针尖样品更换等7
6.3外部影响……………8
6.4小结…………………8
7扫描轴的校准……………9
7.1通则…………………9
7.2测量标样……………9
扫描器的和扫描轴偏差(,)………
7.3xxxtztz10
yyy
和轴(,)以及垂直度()的校准与偏差(,,)的测定…
7.4xCCxtxtwx12
yxyxyyyy
ϕ
轴、、的校准及偏差、、的测定…………
7.5zCzxzyzztzzwxzwy19
ϕϕ
7.6用于可选扩展校准的三维测量标样………………26
8校准结果的报告…………………………29
8.1通则…………………29
8.2使用的设备…………………………30
8.3关于环境条件的说明………………30
()……………
初步研究根据第章
8.4630
———、()…………
校准测量标样扫描范围和扫描速度的详细信息根据第章
8.5730
8.6附加声明……………30
9测量不确定度……………31
9.1通则…………………31
()…………
9.2垂直被测量高度和深度31
Ⅰ
/—/:
GBT426592023ISO119522019
()……
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