GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

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GBT25915.152022ISO14644-152017

洁净室及相关受控环境

:

第部分按气态化学物浓度评定

15

设备及材料的适用性

—

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:

Part15Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentandmaterialsb

yqpy

airbornechemicalconcentration

(:,)

ISO14644-152017IDT

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT25915.152022ISO14644-152017

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………3

5检测装置…………………4

6代表性模式………………6

7目视检查…………………7

8检测流程…………………7

9浓度的计算………………8

10特定释放速率的计算……………………8

11评定………………………9

12记录……………………10

()………

附录资料性已安装设备的适用性评定示例

A12

()………

附录资料性洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例

B13

()………

附录资料性设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定

C14

参考文献……………………16

Ⅰ

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GBT25915.152022ISO14644-152017

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下

GBT2591515GBT25915

部分:

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第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

1

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