JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1100—2016

平面等厚干涉仪校准规范

CalibrationSpecificationforFlatEqualThicknessInterferometers

2016-11-30发布2017-05-30实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJF1100—2016

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

计量特性

4………………(3)

干涉条纹间距测量的重复性

4.1………(3)

测微目镜的示值误差

4.2………………(3)

物镜系统引起的干涉条纹弯曲量

4.3…………………(3)

仪器的示值误差

4.4……………………(3)

校准条件

5………………(3)

环境条件

5.1……………(3)

校准项目和测量标准及其他设备

5.2…………………(3)

校准方法

6………………(4)

干涉条纹间距测量的重复性

6.1………(4)

测微目镜的示值误差

6.2………………(4)

物镜系统引起的干涉条纹弯曲量

6.3…………………(4)

仪器的示值误差

6.4……………………(5)

校准结果的表达

7………………………(5)

复校时间间隔

8…………(5)

附录平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介

A…………………(6)

附录平面等厚干涉仪示值误差校准不确定度评定示例

B…………(7)

附录校准证书内页信息及格式

C……………………(10)

Ⅰ

JJF1100—2016

引言

国家计量校准规范编写规则通用计量术语及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定义和测量不确定度评定与表示共同构成支撑本校准规范修订

》JJF1059.1—2012《》

工作的基础性系列规范

。

与平面等厚干涉仪校准规范相比本规范除编辑性修改外主

JJF1100—2003《》,,

要技术变化如下

:

本规范取消了按仪器示值误差对平面等厚干涉仪分级

———;

本规范取消了不带标准平面平晶平面等厚干涉仪的示值误差可以不测量这

———“”

条规定

;

本规范增加了附录平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介

———A:;

本规范中平面等厚干涉仪示值误差的测量推荐由二块ϕ一等标准平面

———150mm

平晶按其两测量截面一一对应测量方法得到并保留原规范用三块二等平面平晶互检

,

方法

;

本规范取消复校时间间隔中建议一般不超过年条款校准时间间隔由用

———“1”,

户根据自身企业情况确定

。

本规范的历次版本发布情况

:

平面等厚干涉仪校准规范

———JJF1100—2003《》;

平面等厚干涉仪

———JJG336—1983《》。

Ⅱ

JJF1100—2016

平面等厚干涉仪校准规范

1范围

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准

。

2引用文件

本规范引用下列文件

:

平晶

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用本规范

,()。

3概述

平面等厚干涉仪以下简称仪器是采用等厚光波干涉原理用于物体表面平面度

(),

测量或检测的光学仪器按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两

()。

种平面等厚干涉仪仪器外形结构与光学原理分别见图图图和图

。1、2、34。

图不带标准平面平晶干涉仪的外形结构图

1

1

JJF1100—2016

图不带标准平面平晶干涉仪的光学原理图

2

反射镜光阑钠光灯反射镜

1—;2—;3—;4—;

准直物镜被检平面平晶纸垫标准平面平晶

5—;6—;7—;8—;

调节螺钉工作台半透半反镜物镜光阑测微目镜

9—;10—;11—;12—;13—;14—

图带标准平面平晶干涉仪的外形结构图

3

2

JJF1100—2016

图带标准平面平晶干涉仪的光学原理图

4

激光管反射镜聚光镜光阑

1—;2—;3—;4—;

半透半反镜反射镜转向镜组光阑物镜

5—;6—;7—;8—;9—;

分划板目镜组准直物镜标准平面平晶被检平面平晶工作台

10—;11—;12—;13—;14—;15—

4计量特性

干涉条纹间距测量的重复性

4.1

干涉条纹间距测量的重复性一般不超过

±0.020mm。

测微目镜的示值误差

4.2

在任意内最大允许误差在全程内最大允许误差

1mm:±0.005mm,8mm:

±0.010mm。

物镜系统引起的干涉条纹弯曲量

4.3

在视场直径方向两侧内干涉条纹弯曲量最大允许误差其余

1mm:±0.010mm,

部分最大允许误差

:±0.020mm。

仪器的示值误差

4.4

仪器示值最大允许误差

:±0.020μm。

注:以上指标不是用于合格性判别,仅供参考。

5校准条件

环境条件

5.1

校准室内温度为温度变化每小时不超过连续工作温

5.1.1(20±5)℃,0.2℃,10h

度变化应不超过湿度不超过

1.0℃;65%RH。

校准前被校仪器及所用标准器在校准室内温度平衡的时间不少于

5.1.24h。

校准室内无影响测量的振动和噪音无影响测量的气流扰动放置被校仪器