GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29852-2013 Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
发布历史
-
2013年11月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 起草人：
- 马农农、何友琴、王东雪、何秀坤、冯亚彬、裴会川、张雪囡
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
H82
中华人民共和国国家标准
/—
GBT298522013
光伏电池用硅材料中、、施主杂质
PAsSb
含量的二次离子质谱测量方法
,
Testmethodformeasurinhoshorusarsenicandantimoninsiliconmaterials
gppy
usedforhotovoltaicalicationsbsecondarionmasssectrometr
pppyypy
2013-11-12发布2014-04-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
光伏电池用硅材料中、、施主杂质
PAsSb
含量的二次离子质谱测量方法
/—
GBT298522013
*
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