JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
JB/T 4081-2011 Vacuum technology, sputter ion pump
行业标准-机械
简体中文
现行
页数：13页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
JB/T 4081-2011
标准类型
行业标准-机械
标准状态
现行
发布日期
2011-12-20
实施日期
2012-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1991年07月
-
2011年12月
研制信息
- 起草单位：
- 北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
- 起草人：
- 朱国精、邹蒙 等
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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