GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

GB/T 40577-2021 Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

国家标准中文简体现行页数：56页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 40577-2021

发布历史

2021年10月

GB/T 40577-2021　集成电路制造设备术语

当前标准现行 2021-10-11

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研制信息

起草单位：: 中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司

起草人：: 张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩红、丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智

出版信息：: 页数：56页 | 字数：110 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.220

CCSL95

中华人民共和国国家标准

/—

GBT405772021

集成电路制造设备术语

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TerminoloforinteratedcircuitICmanufacturineuiment

gyggqp

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT405772021

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3基础术语…………………1

4晶体生长加工设备………………………2

5掩模制造设备……………5

6光刻与刻蚀设备…………………………8

7掺杂设备…………………15

8薄膜淀积设备……………17

9清洗设备…………………23

10封装设备…………

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