GB/T 24579-2009 酸浸取 原子吸收光谱法测定 多晶硅表面金属污染物
GB/T 24579-2009 Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
                        国家标准
                                                中文简体
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                                                页数:11页
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                        格式:PDF
                    
                基本信息
标准类型
                        国家标准
                        标准状态
                        现行
                    发布日期
                        2009-10-30
                        实施日期
                        2010-06-01
                    发布单位/组织
                        中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
                        归口单位
                        全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
                    适用范围
                        -
                    发布历史
- 
                            2009年10月
研制信息
- 起草单位:
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 起草人:
- 褚连青、王奕、魏利洁
- 出版信息:
- 页数:11页 | 字数:16 千字 | 开本: 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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犌犅犜245792009
酸浸取原子吸收光谱法测定
多晶硅表面金属污染物
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20091030发布20100601实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
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犌犅犜245792009
前言
本标准修改采用《采用酸萃取原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属沾污》。
SEMIMF17241104
本标准对
                    定制服务
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