YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 839-2012 Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry

行业标准-有色金属中文简体现行页数：10页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

YS/T 839-2012

发布历史

2012年11月

YS/T 839-2012　硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

当前标准现行 2012-11-07

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研制信息

起草单位：: 中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司

起草人：: 高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎

出版信息：: 页数：10页 | 字数：17 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.120.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST8392012

硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率

的椭圆偏振测试方法

Testmethodformeasurementofinsulatorthickness

andrefractiveindexonsiliconsubstratesbellisometr

ypy

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率

的椭圆偏振测试方法

/—

YST8392012

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号()

2100013

北京市西城区三里河北街号()

16100045

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服务热线:

010-68522006

年月第一版

20132

书号:·

1550662-24299

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