GB/T 33502-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱(XPS)数据记录与报告的规范要求

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT335022017ISO162432011

表面化学分析射线光电子能谱()

XXPS

数据记录与报告的规范要求

—

SurfacechemicalanalsisRecordinandreortindatainX-ra

ygpgy

()

hotoelectronsectroscoXPS

pppy

(:,)

ISO162432011IDT

2017-02-28发布2018-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT335022017ISO162432011

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4记录和报告的范围………………………1

5发送数据给用户…………………………4

()…………

附录资料性附录谱图实例

A5

参考文献………………………9

Ⅰ

/—/:

GBT335022017ISO162432011

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准使用翻译法等同采用:《表面化学分析射线光电子能谱()数据记录

ISO162432011XXPS

与报告的规范要求》。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、。

本标准负责起草单位厦门爱劳德光电有限公司清华大学化学系

:、、、、、。

本标准主要起草人时海燕李展平孙海珍姚文清刘芬王水菊

Ⅲ

/—/:

GBT335022017ISO162432011

引言

()。()

X射线光电子能谱XPS广泛用于材料的表面分析样品中的元素除氢和氦外由测量光电子谱

。

的芯能级结合能比对这些能量的元素列表而辩识这些元素的化学态信息可以由测量的光电子的化学

/。

位移和或线型比对参考态而推知

。,

本标准规定了分析记录中要包括的样品和实验参数信息的范围分析结果要以标准格式记录格

。。

式要足够详细以使该实验可重复该格式需满足报告的要求

,。

报告宜包括实验条件和数据采集参数以使数据的质量可评估

Ⅳ

/—/:

GBT335022017ISO162432011

表面化学分析射线光电子能谱()

XXPS

数据记录与报告的规范要求

1范围

()。

本标准规定了分析者使用射线光电子能谱分析试样后应报告信息的最低要求包括原

XXPS

始记录和分析记录的信息。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

:(

表面化学分析词汇第部分通用术语和谱学术语

ISO18115-11Surfacechemical

——:)

analsisVocabularPart1Generaltermsandtermsusedinsectrosco

yyppy

3术语和定义

ISO18115-1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

外系统exsitu

分析系统的外部。

3.2

内系统insitu

分析系统的内部。

4记录和报告的范围

4.1概述

。

本标准规定了分析人员使用XPS分析样品时应记录和报告信息的最低要求该记录和报告的要

求分为六个主要方面:

)();

a分析者的记录本或电子文档如计算机数据存储系统

)谱图;

b

)样品的定量分析;

c

)组分深度剖析;

d

)面扫描;

e

)化学位移数据。

f

4.2分析者记录

4.2.1样品标记和制备

,():

对每个样品记录本或电子文档应包含以下信息应记录足够的信息以使日后的测量可重复

1

/—/:

GBT335022017ISO162432011

)提供样品的原实验室和个人的名字;

a

)唯一性的样品编号;

b

)(、、);

c样品分析前后的描述包括详细的物理性质粗糙度颜色及任何可区分的特征等

)测试日期;

d

)、;

e分析者的名字部门及单位

)(、

f涉及分析前外系统样品制备的所有详细说明包括使用胶带或夹子安装的方法在样品架上相

、、);

对于特殊表面特征的位向样品是否切割及如何切割溶剂清洗的详细说明等

:[]。

注文献给出了制备和安装样品的指导

3

)(、、

g涉及分析前内系统样品制备的所有详细说明包括氩离子清洁样品加热断裂等相关详细说

明)。

:[]。

注文献叙述了分析前的样品处理

4

4.2.2分析条件

/(

分析条件的详细列单要记录在记录本上和或电子文档中应记录足够的信息以使日后的测量可重

)。:

复信息要包括

)所使用设备的名称或标识;

a

)(、、、);

所用的射线源和可能涉及的束偏振