GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 14601-2009 Gas for electronic industry—Ammonia
                        国家标准
                                                中文简体
                                                现行
                                                页数:9页
                        |
                        格式:PDF
                    
                基本信息
标准类型
                        国家标准
                        标准状态
                        现行
                    发布日期
                        2009-10-30
                        实施日期
                        2010-05-01
                    发布单位/组织
                        中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
                        归口单位
                        全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
                    适用范围
                        本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。
                    分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。
发布历史
- 
                            1993年08月
- 
                            2009年10月
- 
                            2025年03月
研制信息
- 起草单位:
- 大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
- 起草人:
- 孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云
- 出版信息:
- 页数:9页 | 字数:14 千字 | 开本: 大16开
内容描述
犐犆犛71.100.20
犌86
中华人民共和国国家标准
/—
犌犅犜146012009
代替/—
GBT146011993
电子工业用气体氨
—
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犃犿犿狅狀犻犪
狔
20091030发布20100501实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
犌犅犜146012009
前言
本标准代替/—《电子工业用气体氨》。
GBT146011993
本标准与/—相比主要变化如下:
GBT146011993
———修改标准的名称;
———修改适用范围(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199311
———修改规范性引用文件(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199322
———修改技术指标内容(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199333
———增加对氨尾气处理的要求(见4.3);
———删去按规定的方法测定氧含量(/
                    定制服务
推荐标准
- DB42/T 575.1-2023 露地蔬菜轻简栽培技术规程 第1部分:秋冬大白菜 2023-05-16
- DB42/T 427-2023 地理标志产品 景阳鸡 2023-05-16
- DB42/T 2041-2023 S波段多普勒天气雷达运行环境建设技术规范 2023-05-16
- DB42/T 2039.1-2023 主要鲜切花采后处理技术规程 第1部分:非洲菊 2023-05-16
- DB42/T 678-2023 茶小绿叶蝉绿色防控技术规程 2023-05-16
- DB42/T 610-2023 恩施玉露生产与加工技术规程 2023-05-16
- DB42/T 2038.4-2023 雪茄烟叶生产技术规程 第4部分:农业发酵 2023-05-16
- DB42/T 640-2023 雷电防护装置检测原始记录表填写及报告书编制规范 2023-05-16
- DB42/T 2038.3-2023 雪茄烟叶生产技术规程 第3部分:晾制 2023-05-16
- DB42/T 2040.1-2023 大球盖菇生产技术系列规程 第1部分:桑枝大球盖菇 2023-05-16
 
             
                 
                                                     
                                                    