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    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2023-08-06 | 实施时间: 2023-12-01
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    适用范围:本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L59微型组件
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2023-08-06 | 实施时间: 2023-12-01
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