国际标准分类(ICS)
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现行译:GB/T 32816-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combinationof the deep etching and bonding process适用范围:本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L55/59微电路发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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现行译:GB/T 32814-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process适用范围:本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L55/59微电路发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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现行译:GB/T 32822-2016 General specifications for medium-voltage switchgear and controlgearin ships适用范围:本标准规定了船用中压开关设备和控制设备(以下简称中压开关设备)的额定值、工作条件、设计和结构、性能要求和试验等基本要求。本标准适用于交流1 kV以上至15 kV、直流1.5 kV以上至6 kV的船用电力系统中运行的中压开关设备。【国际标准分类号(ICS)】 :47.020.60船舶和海上构筑物用电气设备 【中国标准分类号(CCS)】 :K34特殊用途电器发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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现行译:GB/T 32815-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process适用范围:本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L55/59微电路发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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现行译:GB/T 32813-2016 Green manufacturing—Life cycle assessment for mechanical products—Detailed regulations适用范围:本标准规定了机械产品生命周期评价(LCA)的评价阶段及流程、目的和范围确定、清单分析、生命周期影响评价、生命周期解释、报告与鉴定性评审。本标准适用于评价机械产品生命周期或指定阶段潜在的环境影响。【国际标准分类号(ICS)】 :25.010机械制造综合 【中国标准分类号(CCS)】 :J04基础标准与通用方法发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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现行译:GB/T 32817-2016 Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS适用范围:本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(MicroTAS)和微能源MEMS]。【国际标准分类号(ICS)】 :31.080.99其他半导体分立器件 【中国标准分类号(CCS)】 :L55/59微电路发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2016-08-29 | 实施时间: 2017-03-01收藏
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