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    适用范围:范围:本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程; 主要技术内容:本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L电子元器件与信息技术
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    【国际标准分类号(ICS)】 :31.260光电子学、激光设备 【中国标准分类号(CCS)】 :暂无
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    【国际标准分类号(ICS)】 :31.180印制电路和印制电路板 【中国标准分类号(CCS)】 :L电子元器件与信息技术
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    【国际标准分类号(ICS)】 :31.180印制电路和印制电路板 【中国标准分类号(CCS)】 :L30印制电路
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    【国际标准分类号(ICS)】 :31.260光电子学、激光设备 【中国标准分类号(CCS)】 :暂无
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