适用范围：本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

适用范围：本标准规定了机械产品生命周期评价（LCA）的评价阶段及流程、目的和范围确定、清单分析、生命周期影响评价、生命周期解释、报告与鉴定性评审。本标准适用于评价机械产品生命周期或指定阶段潜在的环境影响。

适用范围：本标准规定了电网节能项目节约电力电量测量和验证的主要内容、技术要求以及不确定度分析和评定。 本标准适用于公共输配电网及电力用户供配电系统的节能项目，新建项目可参照执行。

适用范围：本标准规定了船用中压开关设备和控制设备（以下简称中压开关设备）的额定值、工作条件、设计和结构、性能要求和试验等基本要求。本标准适用于交流1 kV以上至15 kV、直流1.5 kV以上至6 kV的船用电力系统中运行的中压开关设备。

适用范围：本标准规定了土方机械零部件可回收利用性的术语和定义、分类和标识要求。本标准适用于土方机械使用的金属材料类零部件，质量超过100 g的塑料件、质量超过200 g的橡胶件、热塑性弹性体、复合材料及其他非金属材料类零部件。质量小于本标准规定的零部件可参考使用。

适用范围：本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件［如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（MicroTAS）和微能源MEMS］。

适用范围：本标准将ISO 6165定义的土方机械的防盗系统分为7个等级，并对每个等级提出了相应的性能准则。本标准对关键文件的管理和防盗系统备件的防盗给出了建议。本标准不适用于定位机器的跟踪系统。

适用范围：本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。

适用范围：本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。