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译：SJ 21257-2018 General specification for ion beam film sputtering equipment适用范围：本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。 本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收【国际标准分类号(ICS)】 ：暂无 【中国标准分类号(CCS)】 ：暂无发布单位或类别：(CN-SJ)行业标准-电子 | 发布时间： 2018-01-18 | 实施时间： 2018-05-01收藏
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