国际标准分类(ICS)
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25 机械制造
29 电气工程
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现行
译：YS/T 986-2014 Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers适用范围：本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。 本标准不涉及制作标记的技术。【国际标准分类号(ICS)】 ：29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：H80/84半金属与半导体材料发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏 -
被代替
译：YS/T 987-2014 Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane适用范围：本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。 本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 983-2014 Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas适用范围：本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。 本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 988-2014 Carboxyethyl-germanium sesquioxide适用范围：本标准规定了羧乙基锗倍半氧化物的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同)等内容。 本标准适用于以高纯二氧化锗或以高纯四氯化锗为原料制备的羧乙基锗倍半氧化物（Ge-132)。【国际标准分类号(ICS)】 ：29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：H83化合物半导体材料发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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废止
译：YS/T 982-2014 Carbon/carbon U shape heating element of hydrogenation furnace适用范围：本标准规定了氢化炉用碳/碳复合材料U形发热体的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于多晶硅生产领域氢化炉用碳/碳复合材料U形发热体。【国际标准分类号(ICS)】 ：29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：H83化合物半导体材料发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 981.4-2014 Method for chemical analysis of high pure indium—Determination of tin content—Benzfluorenone-cetyltrimethylammonium bromide spectrophotometric method适用范围：YS/T 981的本部分规定了高纯铟中锡含量的测定方法。 本部分适用于99.999 9%高纯铟中锡含量的测定。测定范围为5×10-5%~2×10-4%。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 981.3-2014 Methods for chemical analysis of high pure indium—Determination of silicon content—Molybdenum blue spectrophotometric method适用范围：YS/T 981的本部分规定了高纯铟中硅含量的测定方法。 本部分适用于99.999 9%高纯铟中硅含量的测定。测定范围为5×10-5%~2×10-4%。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 981.2-2014 Methods for chemical analysis of high purity indium—Determination of magnesium,aluminum,iron,nickel,copper,zinc,silver,cadmium,tin and lead—Inductively coupled plasma mass spectrometry适用范围：YS/T 981的本部分规定了99.999%~99.999 9%高纯铟中镁、铝、铁、镍、铜、锌、银、镉、锡、铅元素含量的测定方法。 本部分适用于高纯铟中镁、铝、铁、镍、铜、锌、银、镉、锡、铅含量的测定。各元素的测定范围见表1。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 984-2014 Determination of boron and phosphorus concent in silicon powder by chemical analysis适用范围：本标准规定了硅粉中硼含量、磷含量的测定方法。 本标准适用于硅粉中硼含量、磷含量的测定。测定范围为硼 0.000 10％～0.010 00％，磷 0.000 50％～0.015 00％。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
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现行
译：YS/T 981.5-2014 Methods for chemical analysis of high pure indium—Determination of thallium content—Rhodamine B spectrophotometric method适用范围：YS/T 981的本部分规定了高纯铟中铊含量的测定方法。 本部分适用于99.999 9%高纯铟中铊含量的测定。测定范围为5×10-5%~3×10-4%。【国际标准分类号(ICS)】 ：77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 ：H17半金属及半导体材料分析方法发布单位或类别：(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间： 2014-10-14 | 实施时间： 2015-04-01收藏
现行
被代替
现行
现行
废止
现行
现行
现行
现行
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