国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译：T/ICMTIA SM006-2021 300mm P/P-type silicon epitaxial wafers for logic processes with an integrated circuit linewidth of 65nm-14nm适用范围：主要技术内容:本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片【国际标准分类号(ICS)】 ：01.020术语学(原则和协调配合) 【中国标准分类号(CCS)】 ：L35/39电真空器件发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2021-05-31 | 实施时间： 2021-07-30收藏