适用范围：范围:本文件规定了采用辉光放电质谱（GD-MS）法测定镍基变形高温合金中痕量元素的方法，包含原理、试验条件、试剂和材料、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度检验、正确度评定、不确定度评定、质量保证和控制、试验报告。 本文件适用于镍基变形高温合金中痕量元素的测定，分析元素种类及分析范围见表1。定量元素及半定量元素种类、测定上限可根据校准样品中元素的种类及含量范围适当调整; 主要技术内容:本文件规定了采用辉光放电质谱（GD-MS）法测定镍基变形高温合金中痕量元素的方法，包含原理、试验条件、试剂和材料、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度检验、正确度评定、不确定度评定、质量保证和控制、试验报告。本文件适用于镍基变形高温合金中痕量元素的测定，分析元素种类及分析范围见表1。定量元素及半定量元素种类、测定上限可根据校准样品中元素的种类及含量范围适当调整

适用范围：主要技术内容:本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定方法。本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定，测定范围为0.10 μg/g～10.00 μg/g

适用范围：主要技术内容:本标准规定了多晶硅生产用硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定方法。本标准适用于多晶硅生产用硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定

适用范围：主要技术内容:本标准规定了颗粒硅生产尾气中硅尘含量的测定方法。本标准适用于颗粒硅生产尾气中硅尘含量的测定

适用范围：主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的测定，测定范围为0 μg/L ～1000 μg/L