适用范围：范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售

适用范围：范围:本文件适用于真空成膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空成膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件适用于真空蒸发镀膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空蒸发镀膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

适用范围：主要技术内容:本文件规定了带式干燥机的标记、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于颗粒状、块状、片状、条状物料干燥的带式干燥机（以下简称“带干机”）

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空管束干燥机的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空管束干燥机

适用范围：范围:本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备的制造; 主要技术内容:本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备; 主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备

适用范围：本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法，测试原理，被测件，测试环境和测试程序等。 本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。

适用范围：范围:本文件规定了高效带式干燥机的术语和定义、分类与编码/构成、基本参数及正常工作条件、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于医药、化工、食品、建材等行业的条状、块状、颗粒状物料干燥的高效带式干燥机; 主要技术内容:一、分类与编码/构成：分类、编码、构成；二、基本参数与正常工作条件：基本参数、正常工作条件；三、要求：1.材料；2.外观；3.装配质量；4.性能：空载试验、密封性、干燥箱升温时间、箱体外表面温度、进风温度调控、箱内温差、温度示值误差、干燥强度、能耗、物料收得率、噪声、尾气粉尘排放量、布料均匀性；5.电气安全：保护联结电路的连续性、电阻试验、耐压试验、操动器、指示灯和显示器、配线技术、标记、警告标志和参照代号、采用PELV作的保护

适用范围：主要技术内容:本文件规定了医用真空机组（以下简称“机组”）的术语和定义、分类、主要设备构成、基本要求及技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输及贮存等。本文件适用于医疗卫生机构、生物安全实验室中心吸引系统的医用真空机组

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变螺距螺杆型干式真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、铭牌、标志、贮存、文件、装箱、包装和运输、质量承诺。本文件适用于变螺距螺杆型干式真空泵（以下简称“真空泵”）

适用范围：主要技术内容:本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）

适用范围：主要技术内容:本标准规定了滑阀真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标牌、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。本标准适用于单级、双级滑阀真空泵（以下简称泵）