适用范围：主要技术内容:本文件规定了带式干燥机的标记、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于颗粒状、块状、片状、条状物料干燥的带式干燥机（以下简称“带干机”）

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空管束干燥机的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空管束干燥机

适用范围：本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法，测试原理，被测件，测试环境和测试程序等。 本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了医用真空机组（以下简称“机组”）的术语和定义、分类、主要设备构成、基本要求及技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输及贮存等。本文件适用于医疗卫生机构、生物安全实验室中心吸引系统的医用真空机组

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变螺距螺杆型干式真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、铭牌、标志、贮存、文件、装箱、包装和运输、质量承诺。本文件适用于变螺距螺杆型干式真空泵（以下简称“真空泵”）

适用范围：主要技术内容:本标准规定了滑阀真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标牌、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。本标准适用于单级、双级滑阀真空泵（以下简称泵）