• 标准状态 
  1. 全部
  2. 现行
  3. 即将实施
  4. 被代替
  5. 废止
  6. 废止转行标
• 发布年份 
  1. 全部
  2. 2025
  3. 2024
  4. 2023
  5. 2022
  6. 2021
  7. 2020及以前

• 现行
  T/ICMTIA pc008-2021 集成电路用硝酸
  译：T/ICMTIA pc008-2021 Nitric acid for integrated circuits
  适用范围：主要技术内容:本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。分子式：HNO3相对分子质量：63.01（按 2014 年国际相对原子质量）
  【国际标准分类号(ICS)】 ：29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：L56半导体集成电路
  发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2021-05-31 | 实施时间： 2021-07-30
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• 现行
  T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
  译：T/ICMTIA PC007-2021 Acidic fluorinated hydrocarbons used in integrated circuits
  适用范围：主要技术内容:本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
  【国际标准分类号(ICS)】 ：29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：L56半导体集成电路
  发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2021-05-31 | 实施时间： 2021-07-30
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