国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译:T/JSSES 16-2021 Integrated utilization technology requirements and testing methods for waste sulfuric acid in the integrated circuit industry适用范围:主要技术内容:项 目 指 标硫酸(H2SO4)质量分数/%≥50过氧化氢质量分数/% ≤0.1灰分质量分数/% ≤0.05铜(Cu)质量指标/% ≤0.0005铁(Fe)质量分数/% ≤0.01砷(As)质量分数/% ≤0.0005铅(Pb)质量分数/% ≤0.01汞(Hg)质量分数/% ≤0.005镉(Cd)质量分数/% ≤0.0005铬(Cr)质量分数/% ≤0.0025镍(Ni)质量分数/% ≤0.0025总有机碳(TOC)/(mg/L) ≤500透明度/mm ≥30【国际标准分类号(ICS)】 :01.060量和单位 【中国标准分类号(CCS)】 :Z00/09环境保护综合发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2021-05-28 | 实施时间: 2021-06-28收藏