• T/JSSES 16-2021 集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法 现行
    译:T/JSSES 16-2021 Integrated utilization technology requirements and testing methods for waste sulfuric acid in the integrated circuit industry
    适用范围:主要技术内容:项        目                             指        标硫酸(H2SO4)质量分数/%≥50过氧化氢质量分数/%         ≤0.1灰分质量分数/%               ≤0.05铜(Cu)质量指标/%      ≤0.0005铁(Fe)质量分数/%      ≤0.01砷(As)质量分数/%      ≤0.0005铅(Pb)质量分数/%       ≤0.01汞(Hg)质量分数/%     ≤0.005镉(Cd)质量分数/%     ≤0.0005铬(Cr)质量分数/%     ≤0.0025镍(Ni)质量分数/%     ≤0.0025总有机碳(TOC)/(mg/L)     ≤500透明度/mm                     ≥30
    【国际标准分类号(ICS)】 :01.060量和单位 【中国标准分类号(CCS)】 :Z00/09环境保护综合
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2021-05-28 | 实施时间: 2021-06-28