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    适用范围:范围:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。 本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用; 主要技术内容:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用。4  测量参数5 测试原理6 仪器设备7 测试要求8 测试步骤9 数据处理
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