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    适用范围:本文件描述了测量经化学机械抛光或外延生长的硅片上表面元素污染的原子表面密度的TXRF方法。 本文件适用于以下情形: ——原子序数从16(S)到92(U)的元素; ——原子表面密度介于1×1010 atoms/cm2~1×1014 atoms/cm2之间的污染元素; ——采用VPD(气相分解)样品制备方法得到的原子表面密度介于5×108 atoms/cm2~5×1012 atoms/cm2之间的污染元素(见3.4)。
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    适用范围:本文件描述了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中硼进行深度剖析的方法,以及用触针式表面轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。 本文件适用于硼原子浓度范围1×1016 atoms/cm3~1×1020 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅或非晶硅样品,溅射弧坑深度在50 nm及以上。
    【国际标准分类号(ICS)】 :71.040.40化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :G04基础标准与通用方法
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    【国际标准分类号(ICS)】 :35.240.60信息技术在运输和贸易中的应用 【中国标准分类号(CCS)】 :A10/19经济、文化
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    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2021-05-21 | 实施时间: 2021-12-01
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    适用范围:本标准规定了太阳能热发电站接入电力系统的术语和定义、发电能力预测、启动和停机、有功功率控制、无功/电压调节、非正常工况、二次系统、仿真模型和参数、涉网试验的技术要求。本标准适用于采用蒸汽轮发电机组的储热型太阳能热发电站。
    【国际标准分类号(ICS)】 :27.160太阳能工程 【中国标准分类号(CCS)】 :F12太阳能
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2021-05-21 | 实施时间: 2021-12-01
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