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废止
GB/T 13840-1992 晶片承载器
译:GB/T 13840-1992 Wafer carriers
【国际标准分类号(ICS)】 :77.120.99其他有色金属及其合金
【中国标准分类号(CCS)】 :L97加工专用设备
发布单位或类别:(CN-GB)国家标准
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发布时间: 1992-12-28
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实施时间: 1993-08-01
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