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    适用范围:本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。 本文件适用于n型掺杂浓度大于1×1018  cm-3的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于1×1016 cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试,测试范围为3 μm~200 μm。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H21金属物理性能试验方法
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    译:GB/T 42897-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
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    【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L59微型组件
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    适用范围:本文件规定了金属材料蠕变裂纹及蠕变疲劳裂纹扩展速率试验相关的符号和说明、试验原理、试样设计、试验程序、试验结果处理及试验报告。 本文件适用于在恒定温度时静态或准静态载荷下,测定金属均质材料及金属焊接接头的蠕变裂纹起裂时间以及蠕变裂纹扩展速率;在恒定温度时单轴循环载荷下,测定金属均质材料的蠕变疲劳裂纹扩展速率。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.10金属材料机械试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H22金属力学性能试验方法
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    适用范围:本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。 本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H21金属物理性能试验方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2023-08-06 | 实施时间: 2024-03-01
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    译:GB/T 42895-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
    适用范围:本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L59微型组件
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    适用范围:本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。
    【国际标准分类号(ICS)】 :31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 :L59微型组件
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2023-08-06 | 实施时间: 2023-12-01
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    适用范围:本文件描述了建材产品中半挥发性有机化合物(SVOC)释放量的测试方法,包括环境测试舱法和微舱法。本文件适用于人造板及其制品、涂料、胶黏剂、绝热材料及制品、铺地材料、壁纸/壁布、运动场地材料等建材产品半挥发性有机化合物释放量的测试。
    【国际标准分类号(ICS)】 :91.100.01建筑材料综合 【中国标准分类号(CCS)】 :Q10/29建材产品
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    【国际标准分类号(ICS)】 :77.140.60钢棒和条钢 【中国标准分类号(CCS)】 :H44型钢、异型钢
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