适用范围：本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

适用范围：本标准规定了评价水基防锈液防锈性能试验的多电极电化学测试方法、设备和程序。 本标准适用于铁基材料上水基有机防锈液防锈性能的比较试验。

适用范围：本标准规定了三价铬电镀溶液的试验方法和三价铬镀层技术要求。还规定了三价铬电镀溶液中三价铬的检测方法和六价铬的验证方法。 本标准适用于装饰防护性铜+镍+铬和镍+铬电镀层用三价铬电镀铬组合镀层。 注：从环境的因素考虑，六价铬是对环境有高强度污染的价态，人或动物吸收六价铬，非常难以代谢。三价铬影响则较小，工艺淤渣少。用三价铬替代六价铬电镀可以减少对环境的危害。

适用范围：本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

适用范围：本标准规定了电动机驱动的卧式单级单吸和单级双吸离心式纸浆泵的产品分类、设计、材料、工厂检查和试验及发运准备。 本标准适用于造纸或制浆工业流程中浆体介质温度≤104 ℃，浓度≤8%的离心式纸浆泵（以下简称泵）。

适用范围：本标准规定了微型电泵的试验方法。规定了微型电泵的试验装置与测试仪表、微型电泵的试验条件、微型电动机的试验、微型电泵的性能试验、汽蚀试验、自吸泵的自吸性能试验、微型电泵的试验记录和试验报告等。 本标准适用于电源电压≤440 V，频率为50 Hz和60 Hz的各类电动机与泵共轴的微型电泵（以下简称泵）。

适用范围：本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

适用范围：本标准规定了内燃机共轴泵（以下简称泵）试验实施、试验数据分析、参数测量、汽蚀试验、噪声测量、振动测量、自吸试验的方法。 本标准适用于内燃机共轴泵的试验。

适用范围：本标准规定了液体过滤用过滤器（以下简称过滤器）的型式、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于非液压系统用袋式过滤器、芯式过滤器、篮式过滤器和盘式过滤器。