适用范围：本文件描述了用安装在扫描电镜（SEM)或电子探针（EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。 本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。 本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。 注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本文件主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。 目前没有公认的轻元素的准确能谱法（EDS)定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的 EDS方法。 a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录 A 中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。 b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素（Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。 c) 通过差值法计算浓度，即用100％ 减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定试样中的其他元素。 附录A总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪（WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。然而，许多其他问题对于这两种技术来说都是共同的。

适用范围：本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注： 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

适用范围：本标准规定了用安装在扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法，本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。 本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。 注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本标准主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。 目前没有公认的轻元素的准确能谱仪（EDS）定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的EDS方法： a)测量峰面积并对比峰强度。如附录D中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。 b)当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素(Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。 c)通过差值法计算浓度，即用100％减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定样品中的其他元素。 附录D总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪(WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。

适用范围：本标准规定了扫描电镜能谱仪化学成分定量分析相关参数的测定方法。 本标准适用于对扫描电镜中影响定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定，并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合分析。

适用范围：GB/T 17363的本部分规定了用电子探针波谱仪测定黄金制品中主元素含量的方法。 本部分适用于测定成分比较均匀的黄金制品。也适用于测定厚度大于3 μm的镀金或包金制品的表层金含量。 本部分不适用于成分不均匀或有镀层的黄金制品整体金含量的测定。

适用范围：本部分规定了密度测定与电子探针分析（或X射线荧光分析、二次离子质谱分析）相结合，测定黄金制品中金含量的方法。 本部分适用于无损测定金含量不小于75％的合金型煅压成型的黄金制品。 本部分不适用有气泡的浇铸成型的或中空的或有镀层的黄金制品。

适用范围：1.1本标准规定了用配置在扫描电镜上的X射线能谱仪对黄金制品化学成分进行无损定量分析的方法和技术要求。 1.2本标准适用于各种纯金制品和K金制品化学成分的测定，也适用于各种镀金、包金、锻压金等制品表面含金层厚度为0.2 μm以上，3 μm以下的表面层化学成分无损测定。 1.3本标准适用于黄金制品中质量分数在0.1%～100%的元素定量分析。本标准也适用于配置在电子探针分析仪上的X射线能谱仪对黄金制品的分析。

适用范围：本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的通用原则。适用于测量(0.5～10)μm的长度。

适用范围：本标准规定了用电子探针对金属及合金的化学成分进行定量分析的方法。 本标准适用于金属和合金试样立方微米尺度的微区成分分析，分析元素的范围是11Na~92U。 本标准也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析。

适用范围：本标准规定了船舶黑色金属材料海洋环境腐蚀层的电子探针分析的试样制备、标样选择、测量步骤和分析条件及分析结果处理。 本标准适用于海洋环境下船舶黑色金属块状腐蚀试样的分析。对其他环境下的黑色金属材料腐蚀层的电子探针分析可参照执行。

适用范围：本标准规定了电子探针定量分析过程中仪器的安装要求、工作条件、标样选择、基本操作过程、各种校正处理方法及结果报告内容。 本标准适用于具有波谱仪的电子探针分析仪对试样中各元素组成定量分析测量及数据处理。

适用范围：本标准规定了透射电子显微镜X射线能谱分析生物薄标样的技术要求、检测条件和检测方法。 本标准适用于生物薄标样的透射电子显微镜X射线能谱分析。

适用范围：本标准规定了透射电子显微镜X射线能谱仪定量分析生物薄试样的技术要求和规范。 本标准适用于生物薄试样所含非超轻元素的透射电子显微镜X射线能谱定量分析。

适用范围：本标准规定了低合金钢和碳钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法，即标定曲线法。 本标准适用于带波谱仪的扫描电镜。

适用范围：本标准规定了钢铁材料缺陷电子束显微分析的术语、分析方法和程序、分析报告内容等。 本标准适用于钢铁材料内部及表面缺陷的电子束显微分析。

适用范围：本标准是用电子探针或者扫描电镜中的波谱仪获得试样特定体积内(μm 3尺度)的X射线谱，进行元素鉴别和确认特定元素存在的一种标准方法。

适用范围：本标准规定了用透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10－9 m～0.1×10-3 m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度。