适用范围：本标准界定了仪器化纳米压入试验在基础通用、仪器特性、力学测量、参数识别、试验样品、测试设定方面所涉及的常用术语及其定义。 本标准主要适用于仪器化纳米压入试验，也可拓宽至仪器化压入试验。

适用范围：本标准规定了测试薄膜压入硬度和弹性模量的仪器化纳米压入试验方法。 本标准适用于附着在固体表面的薄膜。压入方向为垂直于试样表面方向，压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。

适用范围：本标准规定了对仪器化纳米压入试验用仪器的能力要求和试验的基本方法，还规定了对仪器校准和检验、压头、标准样品的要求，以及仪器柔度和压头面积函数的确定方法，并给出了确定硬度和材料参数所需的数据分析方法和压头使用的注意事项。 本标准适用于测试各种体材料和薄膜的硬度、模量等，其压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。