19 试验
65 农业
77 冶金
  • DB13/T 5865-2023 晶圆表面颗粒度检查仪校准方法 现行
    译:DB13/T 5865-2023 The calibration method for surface particle inspection instrument on wafers
    【国际标准分类号(ICS)】 :17.040.20表面特征 【中国标准分类号(CCS)】 :A50/64计量
    发布单位或类别:(CN-DB13)河北省地方标准 | 发布时间: 2023-10-25 | 实施时间: 2023-11-25