适用范围：主要技术内容:本文件规定了发电企业的碳计量器具配备与管理要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了水泥生产企业的碳计量器具配备和管理要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了化工生产企业的碳计量器具配备与管理要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了钢铁生产企业的碳计量器具配备与管理要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了造纸和纸制品生产企业的碳计量器具配备与管理要求

适用范围：本文件适用于在巴音郭楞蒙古自治州域内的计量技术机构向社会提供计量检定、校准服务的全过程

适用范围：主要技术内容:本方法适用于在线燃烧式热值仪（不含预处理系统）的校准

适用范围：主要技术内容:本文件规定了首席计量师的岗位设置、任职要求、工作职责、工作保障、选拔与聘任、考核与管理等内容

适用范围：范围:本文件规定了氢气传感器性能测试的传感器分类、试验条件、试验一般规定、试验项目及方法、试验报告和文件资料等内容。 本文件适用于氢气传感器元件及模组的性能测试; 主要技术内容:本文件规定了氢气传感器性能测试的传感器分类、试验条件、试验一般规定、试验项目及方法、试验报告和文件资料等内容。本文件适用于氢气传感器元件及模组的性能测试

适用范围：范围:本文件规定了氢气传感器安全性能测试的传感器分类、要求、试验条件、试验项目及方法、试验报告和文件资料等内容。 本文件适用于氢气传感器元件及模组、整机的安全性能测试; 主要技术内容:本文件规定了氢气传感器安全性能测试的传感器分类、要求、试验条件、试验项目及方法、试验报告和文件资料等内容。本文件适用于氢气传感器元件及模组、整机的安全性能测试

适用范围：主要技术内容:1、检测原理本方法采用直接离子化小型质谱法。样品经提取后，使用直接离子化小型质谱仪进行检测，采用数据依赖型数据采集模式进行分析，采集目标离子的一级与二级质谱图，并将测试结果与内置标准谱图库中的 多种农药残留的标准质谱图进行匹配计算，对测试结果进行判定。2、性能指标灵敏度：灵敏度应≥90%。特异性：特异性应≥85%。假阴性率：假阴性率应≤10%。假阳性率：假阳性率应≤15%

适用范围：范围:本文件规定了多参数水质分析仪（以下简称仪器）的计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、校准间隔等要求。 本文件适用于测定pH范围：（0~14）、电导率范围：（0~20）mS/cm、浊度范围：（0~4000）NTU、溶解氧浓度范围：（0~20）mg/L、氧化还原电位范围：（-2000~2000）mV和温度范围：（0~60）℃的多参数水质分析仪的校准; 主要技术内容:前言1  范围2  规范性引用文件3  概述4  计量特性5  校准条件5.1  环境条件5.2  测量标准器及其他设备6  校准项目和校准方法6.1  校准项目6.2  校准方法7  校准结果表达8  校准间隔附录A（资料性） 校准用水的制备附录B（资料性） 氧在不同水温、大气压力的水中饱和浓度值及内插法计算水中饱和溶解氧浓度附录C（资料性）  pH示值误差的不确定度评定示例附录D（资料性） 氧化还原电位示值误差的不确定度评定示例附录E（资料性）  电导率示值误差的不确定度评定示例附录F（资料性）  溶解氧浓度示值误差的不确定度评定示例附录G（资料性）  浊度示值误差的不确定度评定示例附录H（资料性）  温度示值误差的不确定度评定示例

适用范围：范围:本文件规定了磷化氢气体检测报警仪（以下简称报警仪）的计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、校准间隔等要求。 本文件适用于测量上限不超过100 μmol/mol的磷化氢气体检测报警仪的校准; 主要技术内容:前言1  范围2  规范性引用文件3  概述4  计量特性5  校准条件5.1  环境条件5.2  测量标准器及其他设备6  校准项目和校准方法6.1  校准项目6.2  校准方法7  校准结果表达8  校准间隔附录A（资料性） 磷化氢气体检测报警仪浓度示值误差测量不确定度评定附录B（资料性） 校准证书内页格式

适用范围：主要技术内容:4  概述4.1  原理GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。4.2  构造GAM500 气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。图1  GAM500气体分析仪原理图4.3  用途GAM500 气体分析仪可在大气环境下对充入 He、Kr 或 CF4 等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。5  计量特性最小可检漏率6  校准条件6.1  环境条件a)环境温度：23℃±5℃；b)相对湿度：≤80%；c)周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。6.2  校准用气体纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。6.3  校准用设备校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1 校准用仪器设备及性能要求序号仪器设备名称技术要求1电容薄膜真空计测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。；2小孔流导元件测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s最大允许误差：±10%7  校准项目最小可检漏率。8  校准方法8.1  校准原理GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为：?Q  = pC                                      (1)式中：Q——标准气体微流量，Pa?m3/s；p——小孔流导元件的入口压力，Pa；C——小孔流导元件的流导值，m3/s。将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量值与其在GAM500气体分析仪上对应的示值实现校准。GAM500气体分析仪的校准原理图见图

适用范围：范围:1.1 主题内容 本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。 1.2 适用范围 本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~ 1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s; 主要技术内容:1  范围1.1  主题内容本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。1.2  适用范围本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~ 1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s。2  规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T  3163 真空技术  术 语GB/T  18193 真空技术 质谱检漏仪校准3  术语定义GB/T  3163 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1  放气流量  gas flow rate在单位时间内材料或部件向真空状态下释放出的气体量。注：单位为帕立方米每秒（Pa·m3/s）。3.2  放气率  outgassing  rate某种材料在单位时间内、单位几何面积上释放出的气体量。注：单位为帕立方米每秒平方厘米[Pa·m3/(s ·cm2)]。4  检测用设备封装电子材料真空放气率检测装置（一套）4.1 装置组成封装电子材料真空放气率检测装置包括固定流导法材料放气检测系统和对称结构流导法材料放气检测系统。两种方法材料放气检测系统原理如图1所示。RP-干泵；TMP1、TMP2-分子泵；VC1-样品室；VC2-参考室；VC3-抽气室；V1~V9-阀门；G1-复合真空计；G2、G3-电离真空计；C1、C2-流导小孔；QMS-四极质谱计；FLM-标准气体流量计；1-固定流导法材料放气

适用范围：范围:本标准适用于电子仪器行业中，检测漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范围内的行波管、速调管、光电器件、陀螺仪、功率开关器件等电子器件产品; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1  超灵敏度检漏 Ultrasensitive leak detection将漏率小于1×10-11 Pa·m3/s的微小漏率检测检称为超灵敏度检漏。3.2  离子流 Ion current质谱计测量气体成分指示的电信号强度大小，其单位为安培。3.3  累积比较法 Cumulative comparison method将被检件泄漏的示漏气体和标准气体流量分别引入质谱分析室内，在质谱分析室切断真空抽气机组后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在质谱分析室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量所泄漏示漏气体引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件泄漏漏率的方法。4  概述4.1  构造电子器件微小漏率检测使用的超灵敏度检漏仪主要由内置标准气体流量、质谱分析系统、真空获得系统、电子线路及其他电气部分组成，1为真空抽气机组；2、4、8、9为真空阀门；3为质谱分析室；5为吸气剂泵；6为质谱计；7为内置标准气体流量；10为被检件；13为真空计。装置结构原理图如图1所示。图1 超灵敏度检漏仪结构原理图4.2  原理将被检件泄漏的示漏气体和超灵敏度检漏仪内置标准气体流量分别引入真空室内，在真空室切断抽气系统后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在真空室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件的漏率。被检测的漏率通过公式（1）计算：Q_L=Q_s  (R_L-R_0)/(R_s-R_0 )（1）其中，Q_s 是超灵敏度检漏仪内置标准气体流量7的漏率值；Q_L是超灵敏度检漏仪测得的被检件10的漏率值；R0是在t0时间内质谱计6测量到质谱分析室3中氦气本底离子流信号变化ΔI_0的变化率，即R_0=(ΔI_0)/(Δt_0 )；R_L是在Δt_L时间内质谱计6测量到质谱分析室3中被检件提供氦气离子流信号变化ΔI_L的变化率，即R_L=(ΔI_L)/(Δt_L )；R_s为质谱计6在Δt_s时间内测量到质

适用范围：范围:本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1动态流量法 Dynamic flow method采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。3.2动态比较法 Dynamic comparison method采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。4  概述4.1  构造真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀；V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀； G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。图1 真空度现场校准装置原理图原理4.2.1 动态流量法动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：P_2=P_1  C1/(C_2 (1- ) )                       （1）式中：—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；—校准室中的压力，单位：Pa；C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；—限流抽气小孔C2处的返流比。4.2.2动态比较法通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。4.3   技术指标本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1  压力示值允许误差限真空计种类标准项目超高真空电离真空计热阴极电离真空计冷阴极电离真空计压力示值允许误差限±70%±50%+100%；-60%4.4 

适用范围：商丘市