• T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 现行
    译:T/CNIA 0060-2020 The determination of phosphorous hydride content in hydrogen used for polycrystalline silicon by gas chromatography
    适用范围:主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定,测定范围为0.02×10-9~1×10-5(v/v)
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.01金属材料试验综合 【中国标准分类号(CCS)】 :G11无机酸、碱
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2020-05-27 | 实施时间: 2020-08-01