国际标准分类(ICS)
19 试验
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译：T/CI 512-2024 Silicon-based thick metal film electroplating process technology specification适用范围：范围:本文件规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力 、保障条件 、材料 、安全与环境操作 、检验等技术要求,确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序。 本文件适用于硅基MEMS制造技术中厚金属膜多层布线的电镀加工; 主要技术内容:本文件规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力 、保障条件 、材料 、安全与环境操作 、检验等技术要求 ,确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序【国际标准分类号(ICS)】 ：25.220.40金属镀层 【中国标准分类号(CCS)】 ：H01技术管理发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2024-09-18 | 实施时间： 2024-09-18收藏