JJG 901-1995 电子探针分析仪

电子探针分析仪检定规程

（JJG901-1995）

评述

周剑雄陈振宇

（中国地质科学院矿产资源研究所北京100037）

E-mail：zjx@

0前言

本文集之所以将本标准收录，并不仅仅因为是电子探针也具有扫描电镜的图像观察和

测长功能，也需要规范，而更重要的是让分析型扫描电镜的使用者仔细研究本标准后，会

明白自己的分析型扫描电镜为什么不能达到定量分析的原因所在，而且也更会明白要达到

定量分析是一件如此轻而易举的事。

“电子探针分析仪的检定规程”是由上海测试中心张训彪起草的，发布于1995年。

检测方法简明扼要，检定项目明确合理，是电子探针检测实验室的重要的仪器检定标准，

许多条款也同时适用于扫描电子显微镜。本标准的内容大体与“电子探针分析仪的检测方

法（GB/T15075-94）”标准一致。但在某些方面有一定差异。

在该检测方法中，标准的制订者对有关扫描电镜功能的几个关键检定的具体内容也作

了如下的规定，这些规定对于获得较佳的图像是非常有益的，如：

（1）放大倍数示值误差：

一级不超过±5％；二级不超过±10％；三级不超过±20％。

（2）二次电子像分辨力：

一级不大于10nm；二级不大于20nm；三级不大于50nm。

（3）探针束流稳定度：

-3-3-3

一级不大于3×10；二级不大于5×1；三级不大于10×10。

（4）束斑位置稳定度：

一级不大于0.5μm；二级不大于1μm；三级不大于2μm。

这里特别指出的是：在该检定方法中，标准的制订者明确提出了必须应用的各种标准

样品，包括放大倍率的标准样品、分辨力标准样品、合金成分标准样品、矿物成分标准样

品等，如第14条中所列：

14检定用标准物质

14.1检定放大倍数用标准物质

参见JJG550-88扫描电子显微镜检定规程9.1款。

14.2合金标准物质

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电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.1％的标准物质。

14.3矿物标准物质

电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.2％的标准物质。

14.4检定二次电子像分辨力用的标准物质。

当然，由于技术的飞速发展，检测方法中有些规定已不太适合目前的实际情况，但其

基本精神仍可适用。同样遗憾的是：这一检测方法没有对测长提出具体的要求，其实，电

子探针在测长方面比扫描电镜有许多优点。电子探针必须进行下列几个方面的严格检定：

（1）放大倍率的校验，非常简单地提到了放大倍数的校验应使用标样，由于国内几

乎没有这方面的标样，这一规定几乎等于白说。如果有极佳的长度标准尺，不仅使电子探

针的放大倍数得以正确性，并使电子探针测长成为可能。

（2）二次电子图像分辨力的检定，以保证电子探针图像观察达到最佳状态，这是一

个最基本的必须得检定，很难想象一个分辨力状态很差的电子探针能够提供合格的结果。

（3）必须对电子探针进行背散射电子像平均原子序数差的灵敏度的检定，进行图像

畸变（图像失真）的调整。因为背散射电子像在实际使用中比二次电子图像有许多优越性，

在电子探针中更经常使用这一图像比进行必要的检定十分需要。

非常遗憾的是，由于某种原因，在电子探针实验室论证过程中，多数忽略了有关图像

性能的检定，忽略了与测长有关的检定。往往把注意力主要集中在电子探针定量分析的正

确度上，以至完全忽略了图像性能的检定。当然，国内缺乏必要的分辨力标样和长度标准

样品，同样在客观上影响到上述检测方法的贯彻执行。该标准的内容要点如下表所示：

表1内容提要

编号JJG901-1995

名称（中文）电子探针分析仪检定规程

（英文）VerificationRegulationofElectronProbeMicroanalyzer

归口单位上海市技术监督局

起草单位上海市测试技术研究所

主要起草人张训彪(上海市测试技术研究所)

批准日期1995年10月19日

实施日期1996年3月1日

替代规程号

适用范围本规程适用于新制造、使用中和修理后的电子探针分析仪（以下简称电子探

针）的检定，也适用于配有波谱仪具有分析功能的扫描电子显微镜的检定。

主要技术要求1.外观7.X射线强度重复性

2.放大倍数示值误差8.合金定量分析误差

3.二次电子像分辨力9.矿物定量分析误差

4.探针束流稳定度10.机壳绝缘电阻

5.束斑位置稳定度11.X射线泄漏剂当量

6.样品台重复性