适用范围：本标准规定了工业机器人RV减速器用精密轴承（以下简称轴承）及轴承单元的分类、代号方法、结构型式、外形尺寸、技术要求、检测方法、检验规则、标志和防锈包装。本标准适用于轴承及轴承单元的生产、检验和验收。

适用范围：本标准规定了使用机械手对结构件进行自动化超声检测的方法。本标准适用于采用单机械手和双（多）机械手的自动超声检测，适合不易于人工操作的复杂形廓结构件的自动超声检测，尤其适合危险、有害和不适宜于人工操作的作业环境。

适用范围：本标准规定了工件热处理前后及热处理过程中金相检验的人员、相关设备、试样的取样、制样、组织显示、组织检验、金相照片制作、原始记录、样品处置、现场金相检验、检验报告及安全环保等技术要求。本标准适用于用光学金相显微镜对热处理金相检验。

适用范围：本标准规定了符合GB/T 18254规定的G8Cr15、GCr15、GCr15SiMn、GCr15SiMo、GCr18Mo钢制滚动轴承套圈和滚动体（以下简称轴承零件）退火、淬火、回火后的技术要求和检验方法。本标准适用于上述钢制轴承零件工序间与成品零件的热处理质量检验，也适用于其他高碳铬钢制轴承零件的热处理质量检验。对于有特殊要求的轴承零件按相应的产品图样的规定。

适用范围：本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。

适用范围：本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

适用范围：本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

适用范围：本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。

适用范围：本标准规定了旋转轴唇形密封圈摩擦扭矩的测定方法。本标准适用于测定旋转轴唇形密封圈(以下简称密封圈)的摩擦扭矩。

适用范围：本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1∶10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。