国际标准分类(ICS)
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译：GB/T 28275-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for KOH etch process适用范围：本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。 本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。【国际标准分类号(ICS)】 ：31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 ：L55/59微电路发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏 -
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译：GB/T 28278.1-2012 Plain bearings—Hydrostatic plain journal bearings without drainage grooves under steady-state conditions—Part 1:Calculation of oil-lubricated plain journal bearings without drainage grooves适用范围：GB/T 28278的本部分适用于稳态条件下静压径向滑动轴承。 GB/T 28278的本部分只针对油腔之间不带回油槽的润滑方式。【国际标准分类号(ICS)】 ：21.100.10滑动轴承 【中国标准分类号(CCS)】 ：J12滑动轴承发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28274-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—The basic regulation of layout design适用范围：本标准规定了微结构加工时，光刻版图设计中图形设计应遵循的基本规则。 本标准适用于采用接触式单/双面光刻、氧化扩散、化学气相淀积(CVD)、物理气相淀积（PVD）、离子注入、反应离子刻蚀（RIE）、氢氧化钾（KOH）腐蚀、硅玻璃对准静电结合、砂轮划片等基本工艺方法。【国际标准分类号(ICS)】 ：31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 ：L55/59微电路发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28273-2012 Process classification of tube and sheet hydroforming适用范围：本标准规定了管材、板材液压成形工艺及分类。 本标准适用于管材液压成形工艺、主动式板材液压成形工艺、被动式板材液压成形工艺、多层板内压对胀成形工艺。 本标准适用于液体、粘性介质等柔性体作为成形介质的成形方法。【国际标准分类号(ICS)】 ：25.020制造成型过程 【中国标准分类号(CCS)】 ：J32锻压发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28276-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process适用范围：本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。 本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。【国际标准分类号(ICS)】 ：31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 ：L55/59微电路发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28271-2012 Metric screw threads with extra fine pitch—Tolerances适用范围：本标准规定了米制超细牙螺纹的公差和标记。 本标准适用于精密仪器和电子设备等领域的螺纹连接。【国际标准分类号(ICS)】 ：21.040.10公制螺纹 【中国标准分类号(CCS)】 ：J04基础标准与通用方法发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28272-2012 Metric screw threads with extra fine pitch—Series and basic dimensions适用范围：本标准规定了米制超细牙螺纹的基本牙型、直径与螺距系列和基本尺寸。 本标准适用于精密仪器和电子设备等领域的螺纹连接。【国际标准分类号(ICS)】 ：21.040.10公制螺纹 【中国标准分类号(CCS)】 ：J04基础标准与通用方法发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28277-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area适用范围：本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。 本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。【国际标准分类号(ICS)】 ：31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 ：L55/59微电路发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28278.2-2012 Plain bearings—Hydrostatic plain journal bearings without drainage grooves under steady-state conditions—Part 2:Characteristic values for calculation of oil-lubricated plain journal bearings without drainage grooves适用范围：GB/T 28278的本部分以图表形式给出了不带回油槽油润滑径向滑动轴承计算的特性值。【国际标准分类号(ICS)】 ：21.100.10滑动轴承 【中国标准分类号(CCS)】 ：J12滑动轴承发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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译：GB/T 28279.2-2012 Plain bearings—Hydrostatic plain journal bearings with drainage grooves under steady-state conditions—Part 2:Characteristic values for calculation of oil-lubricated plain journal bearings with drainage grooves适用范围：GB/T 28279的本部分以图表形式给出了带回油槽油润滑径向滑动轴承计算的特性值。【国际标准分类号(ICS)】 ：21.100.10滑动轴承 【中国标准分类号(CCS)】 ：J12滑动轴承发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 2012-05-11 | 实施时间： 2012-12-01收藏
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